近日，由沈陽(yáng)拓荊科技有限公司建設的我國第一家半導體薄膜設備生產(chǎn)基地在沈陽(yáng)市渾南區落成投產(chǎn)。該基地一期可容納1000人規模的研發(fā)制造團隊，年產(chǎn)能可達100臺(套)，實(shí)現產(chǎn)值15億元。全部達產(chǎn)后，年產(chǎn)能可達350臺(套)。

    我國是全球占據很地位的電子制造國。IC即集成電路是電子設備中重要的組成部分，承擔著(zhù)運算和存儲的功能，是計算機、數字家電、通信等行業(yè)的“心臟”。據行業(yè)協(xié)會(huì )發(fā)布的數據顯示，去年，我國集成電路產(chǎn)業(yè)總營(yíng)收達4335.5億元，同比增長(cháng)20.1%。

    沈陽(yáng)拓荊科技是由海外技術(shù)專(zhuān)家組建的高新技術(shù)企業(yè)，創(chuàng )立于2010年4月。2015年，拓荊科技獲得國內集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金2.7億元戰略投資，是在遼寧投資的第一家企業(yè)。同年，拓荊科技新廠(chǎng)區在沈陽(yáng)市渾南區破土動(dòng)工。新廠(chǎng)區占地面積5.2萬(wàn)平方米，擁有先進(jìn)的研發(fā)設備、場(chǎng)所及生產(chǎn)用十級、百級和千級無(wú)塵潔凈間，是我國第一家半導體薄膜設備生產(chǎn)基地。

    此前，該技術(shù)一直被國外市場(chǎng)壟斷，設備進(jìn)口嚴重受限，極大地制約了國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展。作為IC裝備核心裝備之一，該項目的建成一舉填補了國內空白，提升了我國集成電路產(chǎn)業(yè)整體競爭力。拓荊科技的產(chǎn)品性能、指標達到國際前列設備水平，設備國產(chǎn)化率超過(guò)70%，產(chǎn)能是進(jìn)口設備的1.1倍，成本卻比進(jìn)口設備低了30%。

    截至目前，拓荊科技已申請專(zhuān)利316項、授權專(zhuān)利103項，公司年產(chǎn)值始終保持100%以上的增速，現已成為國內能夠生產(chǎn)適用于大規模集成電路生產(chǎn)線(xiàn)的半導體薄膜設備供應商。